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赛默飞(原FEI)Prisma E SEM-环境扫描钨灯丝电镜
Prisma E SEM是一款高度灵活的扫描电子显微镜(SEM),在各种条件下都能有出色的全能性能。基于其低真空和环境扫描的SEM (ESEM)模式,它完全具备分析不导电,含气体、水分或其它非常规测试的样品。
发射源:钨灯丝(高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪)
分辨率:
高真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
低真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);4.0 nm@ 3kV(BSE);10nm@ 3kV(SE)
环境扫描模式成像 3.0nm@ 30kV(SE)
放大倍数:5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大)
加速电压范围:200V ~ 30kV
探针电流范围:**可达到2μA,连续可调;
低真空范围:高达130Pa;
ESEM真空范围:高达2600Pa(H2O)/4000Pa(N2);
X-Ray工作距离:10mm,EDS检出角35°
样品室:从左至右为340mm宽的大存储空间,样品室可拓展接口数量12个,含能谱仪接口3个(其中2个处于180°对角位置)
样品台:五轴优中心全自动马达驱动
X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15º~90º,R=360º (连续旋转)
多用途SEM样品安装载物台,可同时放置 18 个标准样品座(φ12mm)
**样品高度不低于200mm
**样品承重 5 kg
探测器系统:
高真空二次电子探测器ETD
样品室内IR红外相机CCD
低真空二次电子探测器LVD
气体二次电子探测器GSED(环境真空)
控制系统:
操作系统:Windows 10
图像显示:24寸LCD显示器,**显示分辨率1920×1200
支持用户自定义的GUI,可同时实时显示四幅图像
软件支持Undo和Redo功能
特点与用途
☆ 方便快捷地加载多种样品和重样品;
☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相机和蒙太奇导航功能简化样品导航;
☆ 便捷性的用户指南和撤消功能;
☆ 先进的扫描模式和电子束减速确保**的图像质量;
☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技术下进行直观的元素分析;
☆ 专用真空模式,具备强大的样品兼容性;
☆ 独特的环境扫描模式能够在材料的自然状态下成像;
☆ 可集成冷/热台进行易于控制的动态实验;
☆ 广泛选择的探测器和附件,包括扫描透射电 (STEM)、阴极发光、图像拼接等
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