其它辅助设备-Gatan氩离子抛光系统Ilion II 697

产品功能介绍
　　氩离子抛光系统是一个用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备，以便样品在SEM及其它设备上进行检测分析。可利用IlionII进行抛光加工的材料种类十分广泛，包括由多元素组成的试样，以及具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合物和矿物等。如焊缝截面，集成电路焊点，多层薄膜截面，颗粒、纤维断面，复合材料、陶瓷、金属及合金、岩石矿物及其他无机非金属等各种材料的SEM、EBSD样品。
品牌介绍
　　美国Gatan公司成立于1964年并于70年代末进入中国市场。Gatan公司以其产品的高性能及技术的先进性在全球电镜界享有极高声誉。
　　作为****的设计和制造用于增强和拓展电子显微镜功能的附件厂商，其产品涵盖了从样品制备到成像、分析等所有步骤的需求。产品应用范围包括材料科学、生命科学、地球物理学、电子学，能源科学等领域，客户范围涵盖全球的科研院所，高校，各类检测机构及大型工业企业实验室，并且在国际科学研究领域得到了广泛认同。
经销商介绍
　　欧波同有限公司是中国**的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、辽宁、山东等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜、Gatan扫描电子显微镜制样设备及附属分析设备在中国地区重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内影响力的仪器销售品牌”的经营理念，与蔡司，Gatan品牌强强联合，正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。
产品主要技术参数：

1、   离子枪:          两个配有稀土磁铁的三元构造（阴极、阳极与聚焦极）潘宁离子枪，聚焦离子束设计,高性能无耗材
2、   抛光角度:       +10° 到 -10° ，每个离子枪可独立调节
3、   离子束能量:       100 V 到 8.0 kV
4、   离子束流密度:   10 mA/cm2 峰值
5、   抛光速度:       300 μm/h（8.0 kV条件下对于硅试样）

样品台
6、   样品装载：   Ilion**的样品挡板, 装样简单，再次抛光位置准确，可重复使用，配合Sample Stub可直接转至SEM中观察
7、   样品旋转：   0.5到6 rpm连续可调
8、   束流调制：独特的离子束调制功能，可进行扇形截面抛光（扇形角度为10到90度可调）和平面抛光
9、样品观察：   数码变焦显微镜，配有PC及Digital Micrograph软件采集图像，通过Gatan Digital Micrograph软件可进行实时成像（300x–2,200x）与图像存储和分析
10、液氮冷台：配置液氮冷台，样品*低温度可达-120°C,有效减少离子束对样品造成的损伤

真空系统
11、干泵系统：两级隔膜泵支持80升/秒的涡轮分子泵
12、压力：    5x10-6 托基本压力，8.5x10-5托工作压力
13、真空规：   冷阴极型，用于主样品室；固体型，用于前级机械泵
14、样品空气锁：   独特的Whisperlok设计，样品更换时间<1min，无需破样品室真空

用户界面
15、10 英寸触摸屏：   操作简单，且能够完全程序化控制所有参数可进行配方操作。
16、配方操作模式：自定义不同的加工参数组合，实现一键操作。